Numerical investigation of the influence of EM-Fields on fluid motion and resistivity distribution during Floating-Zone (FZ) growth of large silicon single crystals

verfasst von
Andris Muiznieks, Georg Raming, Alfred Mühlbauer
Organisationseinheit(en)
Institut für Elektroprozesstechnik
Typ
Aufsatz in Konferenzband
Seiten
35-36
Publikationsdatum
2001
Publikationsstatus
Veröffentlicht