Simplified model for Monte Carlo simulation of point defect dynamics during industrial silicon crystal growth

verfasst von
A. Muiznieks, I. Madzulis, K. Dadzis, A. Mühlbauer
Organisationseinheit(en)
Institut für Elektroprozesstechnik
Typ
Aufsatz in Konferenzband
Seiten
311-316
Publikationsdatum
2003
Publikationsstatus
Veröffentlicht