Simulation of CZ single crystal growth from Si-Ge solution

verfasst von
Andris Muiznieks, L. Buligins, Armands Krauze, Alfred Mühlbauer
Organisationseinheit(en)
Institut für Elektroprozesstechnik
Typ
Aufsatz in Konferenzband
Anzahl der Seiten
6
Publikationsdatum
2001
Publikationsstatus
Veröffentlicht