Numerical modeling of the industrial silicon single crystal growth processes

verfasst von

Bernard Nacke, A. Muiznieks

Organisationseinheit(en)

Institut für Elektroprozesstechnik

Typ

Artikel

Journal

GAMM Mitteilungen

Band

30

Seiten

104-115

ISSN

0936-7195

Publikationsdatum

2007

Publikationsstatus

Veröffentlicht