Numerical study of 3D melt flow and dopant mass transfer under influence of AC and DC magnetic fields in industrial FZ Si single cristal growth process

verfasst von
Bernard Nacke, K. Lacis, A. Muiznieks, G. Ratnieks
Organisationseinheit(en)
Institut für Elektroprozesstechnik
Externe Organisation(en)
University of Latvia
Siltronic AG, Burghausen
Typ
Aufsatz in Konferenzband
Seiten
854
Publikationsdatum
2009
Publikationsstatus
Veröffentlicht