Influence of HF EM Forces and Marangoni Forces on the Melt Flow During FZ Silicon Crystal Growth

verfasst von
K. Dadzis, A. Muiznieks, G. Ratnieks, H. Riemann, A. Lüdtke
Organisationseinheit(en)
Institut für Elektroprozesstechnik
Typ
Aufsatz in Konferenzband
Publikationsdatum
2006
Publikationsstatus
Veröffentlicht