Experimental confirmation of a numerical model of doping distribution for floating-zone silicon growth with the needle eye technique

verfasst von
A. Lüdge, H. Riemann, W. Schröder, Alfred Mühlbauer, Andris Muiznieks, Georg Raming
Organisationseinheit(en)
Institut für Elektroprozesstechnik
Typ
Aufsatz in Konferenzband
Publikationsdatum
1998
Publikationsstatus
Veröffentlicht