State of the art of numerical modelling of industrial silicon single crystal CZ and FZ growth

verfasst von
A. Muiznieks, A. Krauze, A. Rudevičs, K. Lacis, G. Ratnieks, Bernard Nacke
Organisationseinheit(en)
Institut für Elektroprozesstechnik
Typ
Aufsatz in Konferenzband
Seiten
423-430
Publikationsdatum
2004
Publikationsstatus
Veröffentlicht