Institut für Elektroprozesstechnik

Modellierung industrieller Prozesse zur Züchtung von Silicium-Einkristallen

verfasst von: Alfred Mühlbauer
Organisationseinheit(en): Institut für Elektroprozesstechnik
Typ: Aufsatz in Konferenzband
Publikationsdatum: 2002
Publikationsstatus: Veröffentlicht

BibTeX

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title = "Modellierung industrieller Prozesse zur Z{\"u}chtung von Silicium-Einkristallen",
author = "Alfred M{\"u}hlbauer",
year = "2002",
language = "Deutsch",
booktitle = "Workshop Elektroprozesstechnik",
publisher = "F{\"o}rderkreis Elektrow{\"a}rme Ilmenau e.V. (FEI)",
note = "Workshop Elektroprozesstechnik - W{\"a}rme- und Kraftwirkungen im Elektromagnetischen Feld ; Conference date: 26-09-2002 Through 27-09-2002",
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Letzte Änderung: 19.01.23 Druckversion