3D Electromagnetic and Thermal Modelling of the EFG Process for Silicon Tube Growth

verfasst von
Bernard Nacke, Sebastian Wipprecht
Organisationseinheit(en)
Institut für Elektroprozesstechnik
Typ
Aufsatz in Konferenzband
Seiten
29-34
Publikationsdatum
2010
Publikationsstatus
Veröffentlicht