Institut für Elektroprozesstechnik

Modellierung des industriellen FZ-Prozesses zur Züchtung von Silizium-Einkristallen

verfasst von: Georg Raming
Organisationseinheit(en): Institut für Elektroprozesstechnik
Typ: Dissertation
Anzahl der Seiten: 159
Publikationsdatum: 2001
Publikationsstatus: Veröffentlicht

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keywords = "Silicium, Modellierung, Tiegelloses Zonenschmelzen, Einkristall",
author = "Georg Raming",
note = "Dissertation",
year = "2001",
language = "Deutsch",
isbn = "3183330091",
series = "Fortschritt-Berichte VDI",
publisher = "VDI-Verl",
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Letzte Änderung: 19.01.23 Druckversion