Numerical modelling of the microscopic inhomogenities during FZ-silicon-growth

verfasst von
Alfred Mühlbauer, Andris Muiznieks, Georg Raming, H. Riemann, A. Lüdge
Organisationseinheit(en)
Institut für Elektroprozesstechnik
Typ
Aufsatz in Konferenzband
Publikationsdatum
1998
Publikationsstatus
Veröffentlicht