Numerical modelling of the microscopic inhomogenities during FZ-silicon-growth
- verfasst von
- Alfred Mühlbauer, Andris Muiznieks, Georg Raming, H. Riemann, A. Lüdge
- Organisationseinheit(en)
-
Institut für Elektroprozesstechnik
- Typ
- Aufsatz in Konferenzband
- Publikationsdatum
- 1998
- Publikationsstatus
- Veröffentlicht