Modellierung industrieller Prozesse zur Züchtung von Silicium-Einkristallen

verfasst von: Alfred Mühlbauer
Organisationseinheit(en): Institut für Elektroprozesstechnik
Typ: Artikel
Journal: Jahrbuch der Braunschweigischen Wissenschaftlichen Gesellschaft
Band: 2001
Seiten: 57-59
ISSN: 0931-1734
Publikationsdatum: 2002
Publikationsstatus: Veröffentlicht
Elektronische Version(en): https://doi.org/10.24355/dbbs.084-201302051501-0 (Zugang: Unbekannt)